平面玻璃厚度測量，曲面玻璃厚度測量，不透明產(chǎn)品厚度測量，平面度/段差測量。
光譜共焦測厚儀，中文應用范圍:3C、半導體、汽車、新能源等領域。
1. 適應性強；
2. 精度高；
3. 穩(wěn)定性強；
4. 感光度高。
| 序號 | 項目 | 參數(shù) |
|
測量頭 |
||
| 1 |
型號 |
CDS-2001.5 |
| 2 |
工作距離 |
20mm |
| 3 |
測量范圍 |
±0.75mm |
| 4 |
線性度 |
±0.6μm（校準后滿量程測量時最大誤差值） |
| 5 |
分辨率 |
0.05μm（測量中心零點平均10噪聲大小程度） |
| 6 |
光斑大小 |
35μm（量程中心位置理論光斑直徑） |
| 7 |
重復精度 |
0.6μm（重復取放樣品50次） |
| 8 |
尺寸 |
Φ20*69mm |
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控制器 |
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| 1 |
型號 |
CDS-5508 |
| 2 |
PC接口 |
USB |
| 3 |
通訊接口 |
串口 |
| 4 |
額定電壓 |
DC24V |
| 5 |
額定電流 |
1A |
| 6 |
尺寸 |
149mm×96mm×122mm |
